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张立锋
高级工程师
电        话:
55664846
邮        箱:
lfzhang@fudan.edu.cn
地        址:
永利集团邯郸校区微电子学楼B208室
研  究  所:
微纳电子器件研究所

研究方向:

原子层淀积(ALD)薄膜制备

集成电路MIM电容研究

高K介质研究


教育背景:

永利集团,微电子学与固体电子学,博士